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  • 发布时间:2017-06-19   来源:有色金属平台  点击量:354
    文章名称:  面心立方结构钛膜的相变
    文章英文名称:  
    关键词:  
    摘要:  
    面心立方结构钛膜的相变
    李 磊,韩 栋,毛小南,雷文光,贾蔚菊,郭 萍,张永强

    (西北有色金属研究院,西安 710016)

    摘 要: 应用直流磁控溅射技术在单晶Al2O3基片上沉积纯钛薄膜,在350 ℃和500 ℃条件下应用不同的溅射功率分别沉积了厚度为50 nm和100 nm的纯钛薄膜。结果表明:在Al2O3(0001)基片上制备出具有面心立方结构的FCC相纯钛薄膜,当降低溅射功率或者降低基片温度时,薄膜由面心立方结构转变为六方的α相。继续增加膜层厚度至微米量级时,钛膜也会逐渐由面心立方结构转变为六方的α相。实验证明Ti多晶薄膜的相结构变化与薄膜的内应力、晶格取向和薄膜微结构有关。

     

    关键字: 纯钛薄膜;面心立方;相变;磁控溅射;微结构


    作者:  李 磊,韩 栋,毛小南,雷文光,贾蔚菊,郭 萍,张永强
    作者单位:  
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    面心立方结构钛膜的相变
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